โมโตโรล่าและดีเอ็นเอ นาโน แมททีเรียลส์ ร่วมกันทำการตลาดสูตรของเหลวขั้นสูงสำหรับขบวนการผลิตเซมิคอนดัคเตอร์ทองแดง

ฝ่ายธุรกิจผลิตภัณฑ์เซมิคอนดัคเตอร์ของบริษัท โมโตโรล่า (Motorola, Inc.) และบริษัท ดูปองท์ แอร์ โปรดัคส์ นาโนแมททีเรียลส์ แอลแอลซี (DuPont Air Products NanoMaterials LLC) หรือ (DA NanoMaterials) วางแผนภายใต้ข้อตกลงล่าสุดที่จะร่วมมือกันสร้างสูตร Chemical mechanical planarization (CMP) โดยโมโตโรล่าจะเป็นผู้จัดหาสูตร CMP สำหรับการออกแบบขนาด 0.13 - 0.10 ไมครอน ให้แก่ ดีเอ นาโนแมททีเรียลส์ ซึ่งจะทำหน้าที่ผลิตและจำหน่ายสูตร slurry (ส่วนผสมระหว่างน้ำกับสารที่ไม่ละลายน้ำ) ไปทั่วโลก ทั้งนี้ บริษัท ดีเอ นาโนแมททีเรียลส์ เป็นบริษัทร่วมทุนระหว่าง บริษัท แอร์ โปรดัคส์ แอนด์ เคมิคอลส์ (Air Products and Chemicals, Inc.) และบริษัท ดูปองท์ (DuPont) ซึ่งถือหุ้นฝ่ายละ 50 เปอร์เซ็นต์

Copper slurry เป็นสารเคมีขัดชนิดเหลวที่ใช้ขัดทองแดงส่วนเกินออกจากพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างขบวนการผลิตเซมิคอนดัคเตอร์ โดยทองแดงส่วนที่เหลือ ซึ่งถูกกำหนดโดยโครงสร้างของเซมิคอนดัคเตอร์ที่สกัดจากชั้น oxide interlevel dielectric layer ซึ่งจะทำหน้าที่เป็นโครงสร้างสำหรับการเชื่อมโลหะ ส่วนโมโตโรล่า ซึ่งเป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์เซมิคอนดัคเตอร์ชั้นนำแห่งหนึ่งของโลกได้พัฒนา copper CMP slurry ที่แสดงให้เห็นถึงประสิทธิภาพในการผลิตปริมาณมาก โดย slurry ได้รับการกลั่นกรองมาถึง 3 ช่วงเวลาของกระบวนการเชื่อมทองแดงขั้นสูง ซึ่งสามารถยกระดับการทำงานที่จำเป็นต่อการผลิตแบบ sup 0.13 um ให้สำเร็จ

ดีเอ นาโนแมททีเรียลส์ ก่อตั้งขึ้นเมื่อเดือนมกราคม 2543 เพื่อผลิตและทำตลาด CMP slurry สารขัด และ เครื่องมืออื่นๆที่เกี่ยวข้อง ดีเอ นาโนแมททีเรียลส์และโมโตโรล่าได้ทำงานร่วมกันอย่างใกล้ชิดช่วง 18 เดือนที่ผ่านมา เพื่อพัฒนาสูตรให้ดีที่สุดและยังจะขยายความสัมพันธ์ในการทำตลาดและขายผลิตภัณฑ์ไปยังทั่วโลกอีกด้วย

ภายใต้ข้อตกลงระยะยาวนี้ slurry จะถูกทำตลาดภายใต้เครื่องหมายการค้าดีเอ นาโนแมททีเรียลส์ แอสเซนด์ (DA NanoMaterials' Ascend) โดยโมโตโรล่าจะให้การถ่ายทอดเทคโนโลยี, เช่นเดียวกับให้การสนับสนุนและฝึกอบรม ในขณะที่ ดีเอ นาโนแมททีเรียลส์ จะทำหน้าที่ในเรื่องการติดตั้ง การผลิต slurry และควบคุมคุณภาพโดยผ่านศูนย์การผลิตระดับโลกในเมืองรัวบอน (Ruabon) แคว้นเวลส์

copper slurry ชนิดสมบูรณ์ มีอัตราในการขจัดทองแดงมากกว่า 5000 A/นาที และยังมีอัตราการผุกร่อนต่ำ โดย slurry มีความมั่นคงและสามารถใช้งานได้กับ slurry ส่วนใหญ่ที่ใช้งานสำหรับฉนวนแบบโลหะ slurry สูตรนี้จึงเป็น copper slurry เพียงไม่กี่ชนิดที่แสดงให้เห็นถึงประสิทธิภาพในการผลิตจำนวนมาก โดยใช้ขบวนการ copper CMP ที่ช่วยประหยัดค่าใช้จ่าย

"บริษัทได้ร่วมงานกันมาเป็นเวลาหลายปีในการพัฒนา copper slurry ที่ทนทานต่อความเคร่งครัดของความต้องการผลิตภัณฑ์ที่เป็นระบบบนชิปที่ซับซ้อนในปัจจุบัน" ด็อกเตอร์หลุยส์ ซี พาร์ริลโล (Dr. Louis C. Parrillo) ประธานเจ้าหน้าที่ฝ่ายเทคนิคเอสพีเอส, รองประธานบริษัทและผู้อำนวยการ ห้องทดลองของดิจิตอลดีเอ็นเอ (DigitalDNZ Labs) กล่าว ด้วยการเป็นพันธมิตรกับ ดีเอ นาโนแมททีเรียลส์ บริษัทสามารถสรรหาโซลูชั่นให้กับตลาดทั่วไปและยังได้รับประโยชน์จากการสร้างมาตรฐานของอุตสาหกรรม

นายโรเบิร์ต บี กราชอฟ (Robert B. Grashoff) ประธานคณะผู้บริหาร บริษัท ดีเอ นาโนแมททีเรียลส์ กล่าวว่า ดูปองท์ แอร์ โปรดัคส์ นาโนแมททีเรียลส์มุ่งมั่นที่จะพัฒนาเทคโนโยีชั้นนำสำหรับ CMP และ ของเหลวที่ใช้ในการขัดแผ่นเวเฟอร์ (wafer polishing slurries) สำหรับการซื้อขายในตลาด ความสัมพันธ์ที่มีกับโมโตโรล่าช่วยให้บริษัทรวม copper slurry ในชุดผลิตภัณฑ์ของบริษัท ซึ่งจะให้บริการลูกค้าด้วยประสิทธิภาพสูง, โซลูชั่นที่ค้มราคาสำหรับการเริ่มต้นขบวนการขัดทองแดง บริษัทยังจะสามารถนำเสนอประโยชน์ต่างๆทั้งในปัจจุบันและอนาคตด้วยการรวมขั้นตอนที่ทันสมัยเกี่ยวกับทองแดงที่พัฒนาโดยโมโตโรล่าเข้ากับระบบการขนส่งสินค้าแบบซัพพลายเชนทั่วโลก, การสนับสนุนด้านแอพพลิเคชั่นและการสาธิตความชำนาญด้าน slurry โดย ดีเอ นาโนแมททีเรียลส์

ตลาด CMP slurry ทั้งหมดในปัจจุบันมีมูลค่าตลาดประมาณ 300 ล้านเหรียญฯ และคาดว่าจะขยายตัวต่อปีมากกว่า 20 เปอร์เซนต์ ในอีก 3 ปีข้างหน้า ส่วนตลาด copper CMP slurry ได้รับการประเมินมูลค่าไว้ประมาณ 50 ล้านเหรียญฯของมูลค่าตลาดรวมทั้งหมด และคาดว่าจะขยายตัวอย่างน้อย 3 เท่า ซึ่งรวดเร็วกว่าตลาด CMP slurry ทั้งหมด

หมายเหตุ: การใช้ข้อความให้ปลอดภัยตามกฎหมายว่าด้วยการปฏิรูปการฟ้องร้องคดีหลักทรัพย์ส่วนบุคคล (THE SAFE HARBOR STATEMENTS UNDER THE U.S. PRIVATE SECURITIES LITIGATION REFORM ACT 1995) รายงานนี้มีข้อความที่เกี่ยวกับการมองไปยังอนาคต ซึ่งรวมถึง แต่ไม่จำกัดเฉพาะที่กล่าวไว้ดังต่อไปนี้ คือ การคาดการณ์ประสิทธิภาพในอนาคตของวัสดุและผลิตภัณฑ์ สภาพทางการเงิน ผลการปฏิบัติการและกระแสเงินสดหมุนเวียนนี้ ซึ่งมีความเสี่ยงและความไม่แน่นอน ข้อความเหล่านี้ยังขึ้นอยู่กับการเปลี่ยนแปลงที่ตั้งอยู่บนรายละเอียดเรื่องความเสี่ยงที่เป็นที่รู้กันจากการฟ้องของบริษัทต่อคณะกรรมการกำกับและดูแลตลาดหลักทรัพย์ ความเสี่ยงที่เป็นที่รู้จักกันและไม่รู้ ตลอดจนปัจจัยอื่นๆที่อาจก่อให้เกิดผลในการปฏิบัติจริงหรือการดำเนินการที่อาจจะแตกต่างไปจากที่ได้มีการระบุไว้ในข้อความเรื่องนี้

ที่มา: ดูปองท์ แอร์ โปรดัคส์ นาโนแมททีเรียลส์ แอลแอลซี

ติดต่อ: สื่อมวลชนติดต่อที่ สตีฟ โฮเวิร์ด (Steve Howard) โมโตโรล่า

โทร.+1-512-895-6335

[email protected] หรือ

แคทเทอรีน อี แมคโดนัลด์ (Catherine E. McDonald) แอร์ โปรดัคส์

โทร.+1-610-481-3673

[email protected] หรือ

แอนโทนี่ อาร์ ฟาริน่า (Anthony R. Farina) ดูปองท์

โทร.+1-302-774-4114 หรือ

[email protected]

การสอบถามของนักลงทุนติดต่อ : บ็อบ ฮับเบิร์ตส (Bob Hubberts ) โมโตโลร่า

โทร.+1-847-576-4995

[email protected] หรือ

อเล็กซานเดอร์ ดับบลิว มาเซตติ (Alexander W. Masetti) แอร์ โปรดัคส์

โทร.+1-610-481-7461

[email protected] หรือ

เรย์มอนด์ จี แอนเดอร์สัน (Raymond G. Anderson) ดูปองท์

โทร.+1-302-774-1125

[email protected]

เว็บไซต์ http://www.airproducts.com

-แปลและเรียบเรียงโดย-สพ/พธ-

• ข่าวAir Products
• ข่าวแคลิฟอร์เนีย
• ข่าวเอเชียเน็ท
• ข่าวแมททีเรียล
• ข่าวโมโตโรล่า